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이온빔 스퍼터링에 의한 ATO 박막의 실온 증착 및 열처리에 따른 특성변화
이온빔 스퍼터링에 의한 ATO 박막의 실온 증착 및 열처리에 따른 특성변화
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MARC
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■700 ▼a구창영 외3인
■773 ▼t한국세라믹학회지▼g11월(제37권11호)▼d2000, 12
■SIS ▼aS010113▼b64638▼h4▼s2
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