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신구대학교 학술정보원

도서명 : 플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법
및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구

저 자 : 인치범

청구기호 :

소장처 :연속간행물실

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