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신구대학교 학술정보원
  • 도서명 : 플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막
    의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성
  • 저 자 : 김재환
  • 청구기호 :
  • 소장처 :연속간행물실
  • 대출요구사항 :