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신구대학교 학술정보원
도서명 :
PECVD법에 의한 3C-SiC 막
증착(I), 증착변수에 따른 Sic 증착거동
저 자 :
서지윤
청구기호 :
소장처 :
연속간행물실
대출요구사항 :
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