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신구대학교 학술정보원
  • 도서명 : PECVD법에 의한 3C-SiC막 증
    착(Ⅱ): Nanoindentation 방법을 이용한 SiC 막의 기계적성질
  • 저 자 : 윤석영
  • 청구기호 :
  • 소장처 :연속간행물실
  • 대출요구사항 :